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想要使用好真空快速退火炉,那您必须掌握这些常识点

点击次数:455    发布时间:2021-07-13
  真空快速退火炉采用了成仪自主研发的智能AIO控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。
 
  真空快速退火炉主要适用于不锈钢拉深件如水暖器材、水胀件、销、医疗器械、不锈钢钉、不锈钢镙丝、压铆件、不锈钢轴承、表壳、表带、刀具、微型轴、自攻自钻、餐具等不锈钢制品在保护气氛控制下进行连续光亮退火、固溶、退磁及不锈钢淬火处理的多用炉。处理后产品表面光洁、不氧化、不脱碳。具有生产效率高、能耗低、污染少、操作使用方便,劳动强度低等优点。

  产品特点:
  1、 红外卤素灯管加热,冷却采用风冷;
  2、加热由功率控制而非电压控制,避免了由于灯丝老化电阻改变导致的后续使用中加热不均的问题,保证了良好的重现性及均温性,即使在后续使用过程中更换了部分新的灯管也可以达到初的热处理效果;
  3、石英腔体,腔体冷却采用水冷,冷壁设计,双层不锈钢;
  4、反应腔室的设计,气体的进入口设计在wafer的表面,避免在退火过程中冷点的产生。很好的保证了样品在加热过程中的均温性;
  5、快速数字PID控温;
  6、热电偶设计上采用中间和边缘安装模式,测试的样品的温度,控温精准;
  7、大气和真空工艺均适合,净化气体配针阀;
  8、最多3工艺气体,配数字质量流量控制器;
  9、电脑通过以太网连接更快的数据传输速度;
  10、可选配石墨托盘表面涂SiC薄膜设计,用于小样品测试;
  11、可选配分子泵,用于高真空测试;
  12、可选配双腔体设计, 达到高洁净工艺,避免交叉污染。
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