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  • 1200℃预加热滑动双温区PECVD系统
    时间:2019-11-20生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:16390

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所希望的薄膜。

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  • 1200℃滑动双温区PECVD系统
    时间:2020-07-17生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:4237

    PECVD系统配置:1.1200度开启式双温区真空管式炉2.等离子射频电源3.多路质量流量控制系统4.真空系统(可选配中真空或高真空)

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  • 1200℃集成型自动小型PECVD系统
    时间:2019-11-21生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:1518

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所希望的薄膜。集成型PECVD系统PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系统PECVD-12IH-4Z/G

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  • 1200度小型PECVD系统
    时间:2019-11-21生产地址:天津厂商性质:生产厂家浏览量:3372

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所希望的薄膜。集成型PECVD系统PECVD-12IH-500A、1200℃小型PECVD系统PECVD-12IH-4Z/G

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